熱式氣體質量流量計采用熱擴散原理，熱擴散技術是一種在苛刻條件下性能優良、可靠性高的技術，其典型傳感元件包括兩個熱電阻（鉑RTD ）， 一個是速度傳感器，一個是自動補償氣體溫度變化的溫度傳感器。當這兩個RTD 被置于介質中時，其中速度傳感器被加熱到環境溫度以上的一個恒定的溫差，另一個溫度傳感器用于感應介質溫度。流經速度傳感器的氣體質量流量是通過傳感元件的熱傳遞量來計算的。氣體速率增加，傳感器傳遞給介質的熱量增多。