平行平晶是以光波干涉原理為基礎，利用平晶的測量面與試件的被測量面之間所出現的干涉條紋來測量被測量面的誤差程度。
＊平行平晶具有高精度的平面性和平行性。
＊平行平晶用于檢定千分尺、杠桿千分尺、杠桿卡規和千分尺卡規等量具測量面的平面度和兩相對測量的平行度。平行平晶共分四個系列，每個系列各分六組，每組四塊。
產品規格：
每組平行平晶共四塊，分四個尺寸系列組
測量范圍：組I系列：0～25mm 組II系列：25～50mm
組III系列：50～75mm 組IV系列：75～100mm
測量面上平面度偏差＜0.1μm
平面度局部偏差＞0.03μm
測量面平行度誤差：組I系列允差值：0.06μm
組II，III系列允差值：0.08μm
組IV系列允差值：0.1μm
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組號 |
0-25 |
25-50 |
50-75 |
75-100 |
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1 |
15.00,15.12 |
40.00,40.12 |
65.00,65.12 |
90.00,90.12 |
|
2 |
15.12,15.25 |
40.12,40.25 |
65.12,65.25 |
90.12,90.25 |
|
3 |
15.25,15.37 |
40.25,40.37 |
65.25,65.37 |
90.25,90.37 |
|
4 |
15.37,15.50 |
40.37,40.50 |
65.37,65.50 |
90.37,90.50 |
|
5 |
15.50,15.62 |
40.50,40.62 |
65.50,65.62 |
90.50,90.62 |
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6 |
15.62,15.75 |
40.62,40.75 |
65.62,65.75 |
90.62,90.75 |
