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成都中冷低溫科技有限公司

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低溫設備的研發;軟件開發及技術咨詢、技術服務、技術轉讓；計...

服務咨詢熱線：

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ALD設備氣體質量流量控制器 MARU 5000

參考價:   ￥1.00萬/件

庫存量:   10000件

起定價:   ￥10000.00/件


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產品參數

產品名稱：ALD設備氣體質量流量控制器 MARU 5000

MARU5000： 量程范圍5sccm~200slm 流量測定范圍： 2%-100%滿量程
零點穩定性： <±0.5%F.S./年 材質： STS-316L電解拋光/真空退火（0.1ｕm Ra）
溫度范圍： 5-50℃
詳細信息
 

MARU 5000質量流量控制器是嚴格按照SEMI工藝制造，適用于各類半導體或高純氣體要求的工藝，采用數字通訊回路，便于診斷和實時控制，具有良好的抗腐蝕性功能，可以使用不同的氣體。

 

優勢：

通過表面EP處理，產品有抗腐蝕性MARU5000：

由于User Interface底盤通訊速度及可能Mac ID設定

模擬與數字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,EtherCAT）


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  • 地區：四川省/成都市/郫縣
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