半導體CVD氣體質量流量控制器 MARU 7000 PI是高性能的數字結構控制回路可以實時控制和診斷，通過表面電解拋光處理，具有優良的耐腐蝕性；MARU 7000 PI是壓力控制器和數字控制回路的改善算法，速度、精度、重復性等功能提高，可適用于精密控制工藝的設備（如半導體MOCVD，ALD等）。
優勢：
三星半導體認證MFC
供給壓力波動時也可以穩定的控制流量
模擬與數字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT）
流量、壓力、溫度、Mac ID，通訊功能等通過MFC本體可顯示
EP拋光，劇透的耐腐蝕性
