電子、半導(dǎo)體、液晶顯示、光伏工業(yè)生產(chǎn)在制作過程中,往往需要使用極其純凈的超純水。如果純水水質(zhì)達(dá)不到生產(chǎn)工藝用水的要求或者水質(zhì)不穩(wěn)定的話,會影響到后續(xù)工藝的處理效果和使用壽命。
電子行業(yè)超純水設(shè)備典型工藝流程
1、采用離子交換方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→陽樹脂床→陰樹脂床→陰陽樹脂混合床→微孔過濾器→用水點
2、采用兩級反滲透方式,其流程如下:自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→精密過濾器→一級反滲透主機→PH調(diào)節(jié)→混合器→二級反滲透主機(反滲透膜表面帶正電荷)→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
3、采用高效反滲透加EDI方式,其流程如下(工藝性價比高):自來水→電動閥→多介質(zhì)過濾器→活性炭過濾器→軟化水器→中間水箱→低壓泵→PH值調(diào)節(jié)系統(tǒng)→高效混合器→精密過濾器→高效反滲透→中間水箱→EDI水泵→EDI系統(tǒng)→微孔過濾器→用水點
三種工藝比較
制備電子工業(yè)超純水的工藝基本上是以上三種,其余的工藝流程大都是在以上三種基本工藝流程的基礎(chǔ)上進行不同組合搭配衍生而來。現(xiàn)將他們的優(yōu)缺點分別列于下面:
第·一種采用傳統(tǒng)的離子交換樹脂其優(yōu)點在于初次投資少,占用的地方少,但缺點就是需要經(jīng)常進行離子再生,耗費大量酸堿,而且對環(huán)境有一定的破壞。
第二種采用反滲透+離子交換設(shè)備,其特點為初次投資比采用離子交換樹脂方式要稍高,但離子再生周期相對要長,耗費的酸堿比單純采用離子樹脂的方式要少很多。是比較經(jīng)濟與流行的一種工藝。
第三種采用反滲透作預(yù)處理再配上電去離子裝置,這是目前制取超純水先進,環(huán)保的工藝,不需要用酸堿進行再生便可連續(xù)制取超純水,對環(huán)境沒什么破壞性。其缺點在于初次投資相對以上兩種方式過于昂貴。
曾理水處理設(shè)備公司提供的EDI超純水設(shè)備出水符合標(biāo)準(zhǔn)水質(zhì),通常以國家自來水標(biāo)準(zhǔn)水位源水,在水處理設(shè)備工藝選材方面參考客戶要求,具有更高性價比和可靠性。
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