什么是化學惰性？化學惰性指的是在正常條件下與其他物質反應的能力極低，很難發生化學反應。具有化學惰性的物質通常不易與酸、堿、鹽以及其他許多化學試劑反應。氦（He）是一種惰性氣體，作為背冷氣體不用擔心腐蝕晶圓表面膜層。

     什么是熱導率？熱導率大小決定了物質傳導熱量的速率，熱導率越大，傳輸熱量的速率越大。一般來說，金屬的熱導率較高，這是因為金屬內部自由電子的存在，能有效傳導熱量；氦氣，盡管其熱導率相比固體和液體較低，但在氣體中屬于第二高的，這使得氦氣作為背冷氣體十分合適。

     什么是比熱容？比熱（比熱容），是指單位質量的物質其溫度升高一度所需吸收的熱量。比熱是衡量物質存儲熱能能力的一個物理量。比熱越大，當物質接收到大量熱量時，其溫度升高的越少。使用氦氣就可以有效防止晶圓溫度升的過高而損壞芯片。

     因氦氣其獨特的物理和化學性質，使得它在晶圓背冷應用中具有顯著的優勢。故選用氦氣作為晶圓背面冷卻的氣體。