臭氧發生器的工作原理是：
利用高壓電離(或化學、光化學反應)，使空氣中的部分氧氣分解聚合為臭氧，是氧的同素異形轉變過程；亦可利用電解水法獲得。臭氧的不穩定性使其很難實現瓶裝貯存，一般只能利用臭氧發生器現場生產，隨產隨用。
間隙放電式臭氧發生器是臭氧在內外電極區間的間隙內產生臭氧，臭氧能夠集中收集輸出使用其濃度較高，如用于水處理。
開放式發生器的電極是裸露在空氣中的，所產生的臭氧直接擴散到空氣中，因臭氧濃度較低通常只用于較小空間的空氣清潔或某些小型物品表面消毒。