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半導(dǎo)體CVD氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 7000 PI
參考價(jià): ￥1.00萬/件
庫存量: 10000件
起定價(jià): ￥/件
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產(chǎn)品參數(shù) 產(chǎn)品名稱：半導(dǎo)體CVD氣體質(zhì)量流量控制器 MARU 7000 PI
詳細(xì)信息 MARU 7000 PI是高性能的數(shù)字結(jié)構(gòu)控制回路可以實(shí)時(shí)控制和診斷，通過表面電解拋光處理，具有優(yōu)良的耐腐蝕性；MARU 7000 PI是壓力控制器和數(shù)字控制回路的改善算法，速度、精度、重復(fù)性等功能提高，可適用于精密控制工藝的設(shè)備（如半導(dǎo)體MOCVD，ALD等）。 優(yōu)勢(shì)： 三星半導(dǎo)體認(rèn)證MFC 供給壓力波動(dòng)時(shí)也可以穩(wěn)定的控制流量 模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet , EtherCAT） 流量、壓力、溫度、Mac ID，通訊功能等通過MFC本體可顯示 EP拋光，劇透的耐腐蝕性
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