金屬密封質量流量控制器MARU 3000_供應產品_成都中冷低溫科技有限公司

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產品參數(shù)

產品名稱：金屬密封質量流量控制器MARU 3000

流量測定范圍：	2%-100%滿量程	精度：	≤±0.25%滿量程（5%-25% Flow Range）/≤±1%讀數(shù)（25%
泄漏率：	5X10-12Pa.m3/sec（He）	數(shù)字接口：	RS485，DeviceNet , EtherCAT
信號類型：	模擬0-5V，數(shù)字RS485，總線Devicenet、EtherCAT

詳細信息

MARU 3000質量流量控制器適用于高純氣體，臟氣應用要求的工藝，采用數(shù)字通訊回路，便于診斷和實時控制，具有良好的抗腐蝕性功能，可以使用不同的氣體。

優(yōu)勢：

通過表面BA處理，產品有抗腐蝕性

由于User Interface底盤通訊速度及可能Mac ID設定

模擬與數(shù)字通訊都可用（Analog,RS485，DeviceNet ,EtherCAT）

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