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其他各種純度、鋼瓶包裝均有售賣,可按照客戶的要求配置。
硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級的硅氫化合物。應用蕞多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡稱做硅烷。
硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應用于微電子、光電子工業, 用于制造太陽電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯①的大規模生產粒狀高純度硅的中間產物。硅烷的高科技應用還在不斷出現, 包括用于制造先進陶瓷、復合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術、新材料、新器件的基礎。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發著火范圍和極強的燃燒能量,決定了它是一種高危險性的氣體。
儲存:
1.在通風良好、安全且不受天氣影響的地方存儲。鋼瓶應直立擺放。且保持保護性閥蓋和輸出閥的密封完好。
2.存儲區域應遠離頻繁出入處和緊急出口。儲存區域內不應有火源,儲存區內所有電器必須有防爆設施。易燃物存放區應與氧及氧化物存放區蕞少相距20ft 。
3.或者在中間放置至少5英尺高的非易燃材料作為屏障,以保證能耐火半小時。儲存區和使用區內應有“禁止吸煙和使用明火”的告示牌。
4.存儲溫度不可高于125℉(52℃)。將空瓶與滿瓶分開存放。避免過量存儲和存儲時間過長。
5.使用先進先出系統。應考慮在儲存區內安裝測漏器和報警設備。
使用:
1.使用防火花工具。不要試圖對裝有硅烷的鋼瓶進行修理、調節或其他改動。
2.如果出現故障或其他操作問題,請立即與蕞近的分銷商聯系。
3.如有可能應避免單獨一個人操作鋼瓶。所有的操作都應這樣進行——一旦發生泄漏,處理緊急情況的人員可以立即趕到。
4.用氫離子檢測器監測硅烷的修理和在空氣中的擴散,用紅外/紫外監測器監測火災 。所以的監測器都應有內鎖,一旦發現問題立即自動切斷硅烷氣源。
5.監測系統應裝備備用或應急電源。必須有遙控緊急開關,必要時可關閉硅烷氣源。
6.硅烷系統中不允許使用填壓閥,只允許使用非填壓的膜閥和波紋管閥。在其分配系統中應安裝過流閥或過流開關。這樣可以在下游管線發生爆炸時切斷氣源。這個開關閥應安裝得離氣源越近越好。
7.一定不要拉、滾動或滑動容器。用合適的手推車來移動容器,不要試圖抓住氣瓶的蓋子來拎起它。保證氣瓶在使用的全過程中為固定狀態。
8.用一個減壓器或獨立的控制閥安全地從氣瓶內釋放氣體。用單向閥來防止倒流。不要用明火或其它附近的熱源加熱鋼瓶的任何部分。
9.一旦鋼瓶與吹掃和鈍化過的系統連接好,應緩慢仔細地打開鋼瓶閥。如果使用者在操作氣瓶閥時有困難,需停止使用,并與供應商聯系。
10.不可將工具(如:扳手,螺絲刀,等) 插入閥蓋內。 否則會損壞閥門并引起泄漏。
11.使用可調節的帶扳手來打開過緊或生銹的閥蓋。所有管路和相關設備接地。電器設備必須防火花和防爆。