品牌: 興林
照明范圍: ≤ф100mm
不均勻性: ф100mm內±3%
可使用的波長: g線、h線、I線的組合。根據用戶要求,可增加I線濾光片
成象面照明: 光照度10~15毫瓦/厘米2,任意可調(出廠時,照明度調在10mw/
曝光分辨率: 1μm
對準精度: 1μm
套刻精度: 1μm
發貨地: 四川成都
室溫: 25℃±2℃(77°F±3.6°F華氏)
潔凈空氣: ≥0.4MPα
真空: -0.07~-0.08MPα
尺寸: 機體720 mm(長)×720 mm(寬)×882mm(高
重量: ≤100Kg