型號: 標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動器型:5J-210(0.75 mN型)S1-210(4 mN型)
檢出器退避驅(qū)動器型: SJ-210(0.75 mN型)
橫向驅(qū)動器型: SJ-210(0.75 m mN型)
范圍/分辨力: 360 μm/0.02 μ
測量速度: 測量時:0.25 mm's
返回時: 1mm'
s:
導(dǎo)頭壓力: 400 mN以下
適用標(biāo)準(zhǔn): JIS'
82 /JIS':
94 / JS':
01 /IS0':
97 /ANSI/ VD:
濾波器: Gaussian,2CR75,PC75
電源: 約4小時
可測量次數(shù): 約1000次
數(shù)量: 999