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超純氣體指純度高于99.99%的氣體,是一種高純化學試劑。為適應一些科學研究和尖端技術的特殊需要而制備。一些對氣體要求特別純凈的部門，需要超純氣體的純度高達99.9999%以上,每升氣體中粒度大于0.5μm的塵粒數應小于三個。
品種用途
超純氣體的品種發展十分迅速，1981年單一超純氣體120多種，混合超純氣體12類約300多種。中國能生產單一超純氣體十多種，混合超純氣體幾十種。除表中所列主要品種外，單一超純氣體還有二氧化硫、一氧化碳、二氧化碳、乙烯、正丁烷、砷烷、丙二烯、順丁烯、丁二烯等。混合超純氣體為上述單一超純氣體的混合氣，分別有專門的用途，如純氬-氮混合氣用于電光源中鎢絲的還原,純氬-氖混合氣、氬-氦混合氣用于霓虹燈充氣等，還有不少超純混合氣體作為色譜、質譜和光譜分析中的標準氣。
貯運
對于超純氣體，任何微小的污染都會嚴重影響氣體的質量，因此氣體貯存和運輸過程中的潔凈和高度密封性特別重要。超純氣體主要采用高壓鋼瓶或低溫液化氣體容器貯存和運輸。高壓鋼瓶堅實耐用，運輸和使用靈活，氣體無損耗，但氣體純度穩定性較差；低溫液化氣體容器單位容積貯量很大，但有氣體排放損耗。
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